E-UMS130-X (estágio de tradução motorizada linear de alta precisão)

Pequena descrição:

E-UMS130-X Estágio de Translação de Motor Linear de Baixo Perfil e Alta Precisão
Acionamento direto com medição direta de posição

Desempenho de nanoposicionamento e alta velocidade em um design de palco compacto e acessível

● Faixas de deslocamento linear de 60, 110 e 160 mm;

● Movimento linear incremental mínimo de 10 nm;

● Opções de codificador de posição de alta precisão: Medição incremental e absoluta;

● Tamanho compacto: seção transversal de 135 mm × 45 mm;

● Guias de rolos cruzados para alta capacidade de carga e alto desempenho geométrico;

● Motores lineares trifásicos sem ferro

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ESPECIFICAÇÃO

Perguntas frequentes

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A série E-UMS130-X adota trilho guia de rolos cruzados de alta precisão com função antiderrapante, coopera com motor linear e escala de grade de alta resolução e tem as vantagens de tamanho pequeno, carga grande e baixo ruído.A guia de rolos transversais antiderrapante é especialmente adequada para aplicações que requerem deslocamento fino, com.

O sistema de controle de acionamento de alto desempenho pode sair de forma estável em um tamanho de passo de 10 nm, que é um desempenho importante que é difícil de garantir para plataformas de motor linear de trilho de guia linear comuns.Portanto, a série UMS130-X é especialmente adequada para cenários de aplicação de posicionamento, detecção, exposição e microprocessamento de alta precisão.

● Motor de acionamento direto sem contato, ultra-alta precisão e excelente desempenho dinâmico;

● Motor sem ferro, a flutuação de velocidade é inferior a um milésimo (combinado com o tipo especificado de unidade, dados de teste de ambiente de laboratório);

● Trilhos de guia silenciosos e antiderrapantes para garantir o controle de micropassos;

● Longa vida útil, uso prolongado sem manutenção;

Medição de posição altamente precisa com encoder linear incremental

Há uma escolha de encoders incrementais econômicos, encoders incrementais de classe metrológica e encoders de medição absoluta (sem necessidade de referência na inicialização).Como a posição linear da platina é medida diretamente na plataforma móvel contra a base estacionária, sem contato (metrologia direta), folga, folga mecânica ou deformação no trem de acionamento, como é comum em combinações de motor/parafuso de avanço, não influenciam na precisão da posição .

Guia de rolos cruzados

Com guias de rolos cruzados, o contato pontual das esferas nas guias de esferas é substituído pelo contato linear dos rolos endurecidos.Consequentemente, eles são consideravelmente mais rígidos e precisam de menos pré-carga, o que reduz o atrito e permite um funcionamento mais suave.As guias de rolos cruzados também se distinguem pela alta precisão de guiamento e capacidade de carga.As gaiolas de elementos rolantes guiadas por força evitam a deformação da gaiola.

Combinações de estágio multieixo: XY e XYZ

Combinações de estágio de 2 eixos e 3 eixos são viáveis.As mesas XY podem ser construídas empilhando dois estágios de eixo único, enquanto um eixo Z personalizado com compensação de força de peso pode ser usado para combinações de estágios de translação XYZ.Outra opção de eixo Z é o compacto estágio linear vertical UMS130-X com contrapeso magnético integrado ajustável pelo usuário.

Campos de aplicação

Indústria e pesquisa.Metrologia.Fotônica e digitalização de precisão na fabricação de semicondutores ou monitores de tela plana.

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Especificação	UMS130-60X	-110X	-160X
Tipo de motor	Motor sem ferro trifásico
Tipo de codificador	Codificador incremental 0,1um (codificador opcional de até 1 nm, opcional absoluto)
Empuxo do motor	Nominal 40N Pico 90N
Aceleração (sem carga)	3G	2,5G	2G
Tipo de limitação de posição	Mecânico, fotoelétrico, software (proteção de limite triplo)
Material	Liga de alumínio 6061-T6 (aço inoxidável opcional)
Alcance de viagem mm	60	110	160
Precisão hum	±3um（Calibração ±0,5um）
Repetibilidade Precisão um	±0,1um（±50nm corresponde a grade acima de 5nm）
Velocidade máxima mm/s	300mm/s
Capacidade máxima de carga kg	6	8	12

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